stroj za fizično nanašanje s paro za optiko je, da material filma postavimo v vodno{0}}hlajen bakren lonček in neposredno uporabimo segrevanje z elektronskim žarkom, da povzročimo, da atomi ali molekule v materialu filma uparijo in uidejo s površine, nato vstopijo na površino substrata in kondenzirajo v film.
Izhlapevanje z elektronskim žarkom ima večjo toplotno učinkovitost, večjo gostoto žarkovnega toka, hitrejšo hitrost izhlapevanja in večjo čistost filma kot izparevanje s splošnim uporovnim segrevanjem.
Aplikacije:
Stroj za optično prevleko lahko premaže različne filmske sisteme z velikim številom plasti, kot so kratko{0}}valovni prehod, dolgo-valovni prehod, proti-odbojni film, odsevni film, filtrski film, spektroskopski film, pasovni film, dielektrični film, visoko-odsevni film, barvni odsevni film itd.
Lahko doseže filmsko prevleko 0-50 plasti filma in lahko izpolni tudi zahteve glede premazov izdelkov, kot so avtomobilsko odsevno steklo, očala, optične leče, skodelice za hladno svetlobo itd.
Lahko prevleče različne filmske sisteme z različnimi viri izparevanja, elektronskimi topovi, ionskimi viri in merilniki debeline filma ter lahko izhlapi kovine, okside, spojine in druge filmske materiale z visokim-tališčem-.
Lastnosti:
Stroj za fizično nanašanje s paro za optiko je opremljen z merilnikom debeline kremenčevega kristalnega filma, PLC in sistem zaslona na dotik pa sta združena za samodejni nadzor celotnega delovnega procesa z odlično delovno učinkovitostjo in ponovljivostjo kakovosti izdelka.
Primeren za uporabo s strani proizvajalcev na področju optike in zahtev-industrijske proizvodnje velikega obsega.
Specifikacija:
| Stroj za optično prevleko | |||||||
|
Model |
SF-800 |
SF-1200 |
SF-1400 |
SF-1600 |
SFW-1000 |
SFW-1200 |
SFW-1600 |
|
Velikost komore |
Φ800×1000MM |
Φ1200×1400MM |
Φ1400×1600MM |
Φ1600×1800MM |
Φ1000×1100MM |
Φ1200×1400MM |
Φ1600×1800MM |
|
Vakuumska enota |
Difuzijska črpalka KT500 |
KT630 Difuzijska črpalka |
Dvojna difuzijska črpalka KT630 |
Dvojna difuzijska črpalka KT630 |
Difuzijska črpalka KT500 |
KT630 Difuzijska črpalka |
Dvojna difuzijska črpalka KT630 |
|
Sistem premazov |
Izparilni vir elektronske pištole, namenski napajalnik pomožnih ionov za prevleko ali Hallov vir ionov |
||||||
|
Sistem inflacije |
Krmilnik tlaka |
||||||
|
Nadzorna metoda |
Ročno ali popolnoma avtomatsko |
||||||
|
Sistem za spremljanje debeline filma |
Sistem za spremljanje debeline filma kremenčevih kristalov |
||||||
|
Stopnja črpanja |
5×10-3Pa﹤15min |
||||||
|
Končni vakuum |
3,0X10-4Pa |
||||||
|
Opomba |
Zgornji parametri opreme so samo za referenco in so zasnovani in prilagojeni glede na dejanske procesne zahteve strank. |
||||||
Priljubljena oznake: stroj za fizično naparjanje za optiko, Kitajska stroj za fizično naparjanje za optiko proizvajalci, dobavitelji, tovarna
