To je običajno na proizvodnih mestih: stranka ima nujno naročilo, ki zahteva le nekaj deset orodij, vendar je zmogljivost peči nekaj tisoč. Naj bo vklopljen ali izklopljen?
Zaradi prihranka časa se orodje pogosto vstavi neposredno v peč. rezultat? Razlika v barvi, pokanje filma ali celo mehčanje podlage po žarjenju.
Na tej točki tehnik pogosto prilagaja parametre, preverja pline in sumi na ciljni material, vendar spregleda najbolj neopazen dejavnik-peč je premalo obremenjena.
Danes bomo razpravljali o »božanski pomoči« pri galvaniziranju orodij (zlasti občutljivih premazov, kot je DLC), ki jo zlahka zamenjamo za staro železo-navidezno breme.
Tako imenovani-"parametri procesa" so pravzaprav "parametri polne{1}}obremenitve."
Mnogi inženirji premazov imajo napačno prepričanje, da bo kakovost premaza dosledna, če pravilno nastavijo napetost, tok, tlak plina in temperaturo.
To je popolnoma napačno.
PVD vakuumski premaz je v bistvu dinamično ravnovesje v plazemskem okolju. Vsi parametri, ki jih nastavite (kot sta prednapetostni tok in ciljni tok), se prilagodijo glede na vnaprej nastavljeno "obremenitev".
Ko je peč polna, plazma enakomerno »ovije« na tisoče obdelovancev; toda kaj se zgodi, če je v peči le ena-desetina obdelovancev ob enaki gostoti moči?
Plazma bo neusmiljeno napadla nekaj preostalih obdelovancev.
To je kot uporaba ognja, ki je bil prvotno namenjen kuhanju v loncu mesa, zdaj pa vam omogoča kuhanje le dveh rezin; neizogiben rezultat je,-da se meso zažge, lonec pa se lahko celo zažge.
Tri osnovne funkcije navideznih obremenitev
Pri-opremljanju orodij višjega cenovnega razreda, zlasti pri nanašanju DLC-brez vodika ali premazov z visoko-trdoto, uporaba navideznih bremen (zavržena držala orodij, specializirana vpenjala ali nadomestki) ni za estetske namene, temveč za preživetje.
1. Stabilizirajte "toplotno vztrajnost", da preprečite žarjenje substrata
Prevajanje toplote je v vakuumskem okolju zelo počasno; temelji predvsem na sevanju.
Če je v vakuumski komori premalo obdelovancev, se skupna toplotna kapaciteta močno zmanjša. Pri enaki ogrevalni moči ali energiji bombardiranja bo stopnja segrevanja obdelovanca podobna raketi.
Posledica: Vaš instrument morda kaže temperaturo samo 450 stopinj, vendar je lokalna temperatura ostrih vogalov ali rezalnih robov obdelovanca morda že presegla temperaturo popuščanja hitro-reznega jekla.
Izid: Prevleka je bila v redu, vendar se je trdota orodja zmanjšala, zaradi česar se je zlomilo takoj, ko ga je stranka uporabila. Namen navidezne obremenitve je, da deluje kot velik "absorber toplote", ki nadzoruje temperaturo in naredi ogrevalno krivuljo gladko in obvladljivo.
2. "Zavajanje" napajalnika za stabilno prednapetost
Bias napajalniki morajo med delovanjem zaznati impedanco obremenitve.
Če je obdelovancev premalo, se bo impedanca obremenitve zelo razlikovala. Ustrezno omrežje napajalnika morda ne bo delovalo optimalno in lahko celo pogosto zazna lažno "oblok", kar povzroči pogoste izklope-napajanja ali popačenje valovne oblike.
Posledice: Slab oprijem premaza in celo luknjanje, ki ga povzroči trenutna visoka napetost, ki zlomi robove obdelovanca.
Rezultat: z dodajanjem navideznega bremena napajalnik vidi "znano" impedančno okolje, kar povzroči gladko in stabilno izhodno valovno obliko.
3. Izboljšanje porazdelitve pretoka plina in gostote plazme (zlasti DLC)
DLC (Diamond-like Carbon) premazi so izjemno občutljivi na notranjo obremenitev.
Med nanašanjem ogljikovega filma, če je obremenitev prenizka, odvečni ogljikovi ioni nimajo kam iti, kar vodi do pretirano hitrih lokalnih stopenj nanašanja in močnega povečanja notranje napetosti v filmu.
Posledice: Film lahko poči v vakuumu, preden zapusti komoro, ali pa se samodejno odlepi, ko ostane več dni po tem, ko zapusti komoro.
rešitev: Navidezna obremenitev s tem, da zasede prostor, simulira motnje pretoka plina in porabo v pogojih polne obremenitve, kar zagotavlja, da se stopnja porabe reaktivnih plinov ohranja znotraj procesnega okna.
Navidezna obremenitev ni "kanta za smeti".
Ker je navidezna obremenitev tako pomembna, ali ne morete kar vreči starega železa?
To je druga pogosta napaka mnogih tovarn.
1. Navidezna obremenitev mora biti "čista". Mnogi operaterji preprosto vržejo zarjavele železne kocke ali-oljno umazane šablone, da zapolnijo prostor.
Te umazane stvari bodo pri segrevanju v vakuumu sprostile velike količine vodne pare in oljne pare (izločanje plinov).
Priporočilo: navidezne obremenitve bi morale biti tudi podvržene standardnemu postopku čiščenja, vsaj da se zagotovi, da so brez olja in rje.
2. Geometrija naj bo "podobna".
Če premazujete tanek končni rezkar, bi morala biti lažna obremenitev v idealnem primeru tudi podoben predmet-v obliki palice.
Če postavite veliko ploščato ploščo kot navidezno obremenitev, bo njena porazdelitev električnega polja (učinek robov) popolnoma drugačna od porazdelitve vitke palice, kar močno moti enakomernost prevleke bližnjega obdelovanca.
