1. Standardni okoljski pogoji: temperatura 20 stopinj, relativna vlažnost 65%, atmosferski tlak 101325 Pa.
2. Standardno stanje plina: temperatura 0 stopinj, tlak 101325 Pa.
3. Tlak (intenzivnost): hitrost spremembe gibalne količine molekul plina, ki gredo skozi namišljeno ravnino vzdolž pozitivne normalne smeri te ravnine, deljena s površino te ravnine; ali normalna komponenta sile, s katero delujejo molekule plina na površino vsebnika, deljeno s površino.
4. Pascal (simbol: Pa): enota SI za tlak, 1 Pa=1 N/m².
5. Parcialni tlak: tlak določene komponente v mešanici plinov.
6. Skupni tlak: vsota tlakov vseh komponent v mešanici plinov.
7. Vakuum: plinasto stanje pod eno atmosfero tlaka v določenem prostoru.
8. Stopnja vakuuma: redčenje plina v pogojih vakuuma, običajno izraženo kot vrednost tlaka.
9. Plin: Snov, ki ni vezana z medmolekulskimi silami in lahko prosto zaseda poljuben prostor. (Opomba: V vakuumski tehnologiji se izraz "plin" ne uporablja strogo za ne-kondenzirajoče pline in hlape.)
10. Ne-kondenzacijski plin: plin nad kritično temperaturo, tj. plin, ki ga ni mogoče utekočiniti zgolj s povečanjem tlaka.
11. Para: plin pod kritično temperaturo, kar pomeni plin, ki ga je mogoče utekočiniti preprosto s povečanjem njegovega tlaka.
12. Nasičeni parni tlak: Parni tlak snovi pri dani temperaturi, ko sta njena para in kondenzirana faza v faznem ravnovesju.
13. Stopnja nasičenosti: Razmerje med parnim tlakom in njegovim nasičenim parnim tlakom.
14. Nasičena para: para pri določeni temperaturi, katere tlak je enak nasičenemu parnemu tlaku.
15. Nenasičena para: para pri dani temperaturi, katere tlak je nižji od njenega nasičenega parnega tlaka.
16. Gostota molekulskega števila (enota: m⁻³): število molekul v prostornini, ki obdaja točko v plinu v danem trenutku, deljeno s produktom.
17. Srednja prosta pot: Razdalja, ki jo molekula prepotuje v dveh zaporednih trkih z drugimi molekulami plina, se imenuje prosta pot. Povprečje velikega števila različnih prostih poti imenujemo povprečna prosta pot.
18. Stopnja trkov: Povprečno število trkov, ki jih doživi molekula (ali drug definiran delec) glede na druge molekule plina (ali druge definirane delce) v danem časovnem intervalu, deljeno s tem časom. To povprečno število trkov bi morali dobiti z dovolj velikim številom molekul in dovolj dolgim časovnim intervalom.
19. Volumetrična stopnja trkov: povprečno število trkov med molekulami plina v prostorskem območju okoli določene točke v danem časovnem intervalu, deljeno s tem časom in prostornino tega prostorskega območja. Časovni interval in obseg naj ne bosta premajhna.
20. Količina plina: zmnožek prostornine, ki jo zavzema idealni plin v ravnotežju, in njegovega tlaka. Ta vrednost mora določati temperaturo plina ali jo pretvoriti v vrednost pri 20 stopinjah. (Opomba: količina plina se nanaša na 2/3 notranje energije (ali potencialne energije) plina v prostornini, ki jo zaseda ta količina plina.)
21. Difuzija plina: Gibanje plina v drugem mediju zaradi koncentracijskega gradienta. Medij je lahko drug plin (v tem primeru difuzijo imenujemo interdifuzija) ali snov, ki lahko kondenzira.
22. Difuzijski sistem: Razmerje med absolutno vrednostjo masnega pretoka na enoto površine in normalnim koncentracijskim gradientom na enoto površine.
23. Viskozni tok: stanje toka, kjer je povprečna prosta pot molekul plina veliko manjša od minimalne velikosti prečnega-prereza kanala. Zato je pretok odvisen od viskoznosti plina; viskozni tok je lahko laminaren ali laminaren.
24. Koeficient viskoznosti: Razmerje med tangencialno silo na enoto površine v smeri gradienta hitrosti plina in gradientom hitrosti.
25. Poissonov tok: Laminarni-viskozni tok skozi dolg kanal s krožnim-presekom.
26. Vmesni tok: tok plina skozi vod v stanju med laminarnim in molekularnim tokom.
27. Molekularni tok: Tok, pri katerem je povprečna prosta pot molekul plina veliko večja od največjega prečnega-prereza cevi.
28. Knuthovo število: Razmerje med srednjo prosto potjo molekul plina in premerom cevi.
29. Molekularni preliv: tok, ko plin teče skozi tanko{1}}odprtino, kjer je povprečna prosta pot njegovih molekul veliko večja od velikosti odprtine.
30. Pobeg: pretok plina skozi porozni material, ki ga povzroči razlika v tlaku.
31. Toplotni pobeg: Pri molekularnem toku pride do toka plina med dvema povezanima vsebnikoma zaradi temperaturnih razlik. Ko transport plina doseže ravnovesje, se med obema vsebnikoma oblikuje gradient tlaka.
32. Hitrost molekularnega pretoka: razlika med številom molekul, ki gredo skozi površino v dani smeri, in številom, ki gredo skozi površino v nasprotni smeri v danem časovnem intervalu, deljeno s časom.
33. Gostota molekularnega pretoka: hitrost molekularnega pretoka, deljena s površino.
34. Masni pretok: masa plina, ki prehaja skozi-prerez v danem časovnem intervalu, deljena s časom.
35. Hitrost pretoka: količina plina, ki prehaja skozi-prerez v danem časovnem intervalu, deljena s časom.
36. Volumetrični pretok: prostornina plina, ki prehaja skozi prečni-prerez pri dani temperaturi, tlaku in pogojih časovnega intervala, deljena s tem časom.
37. Število molov plina, ki prehaja skozi dani presek-v danem časovnem intervalu, deljeno s tem časom.
38. Maxwellova porazdelitev hitrosti: Porazdelitev hitrosti, določena z Maxwell-Boltzmannovo funkcijo porazdelitve hitrosti. To je porazdelitev hitrosti molekul plina v ravnotežju pri določeni temperaturi in ko je razdalja do stene posode večja od povprečne proste poti molekul.
39. Verjetnost transporta: verjetnost, da bodo molekule, ki naključno vstopijo v dovod cevi, izstopile skozi izhod.
40. Molekularna prevodnost: molekularna prevodnost plina, ki teče skozi dva določena preseka ali odprtini cevi, izražena kot razmerje med njegovo hitrostjo molekularnega pretoka in povprečno razliko gostote molekulskega števila med dvema presekoma ali odprtinama cevi.
41. Prevodnost: V izotermičnih pogojih razmerje med hitrostjo pretoka plina skozi cev ali odprtino in povprečno razliko tlaka v dveh določenih presekih cevovoda ali odprtine.
42. Lastna prevodnost: V pogojih, kjer v posodi prevladuje Maxwellova porazdelitev hitrosti, prevodnost voda (ali odprtine), ki povezuje dve taki posodi. V pogojih molekularnega toka je enak zmnožku vhodne prevodnosti in verjetnosti transporta.
43. Pretočni upor: recipročna vrednost prevodnosti.
44. Adsorpcija: zajem plina ali pare (adsorbat) s trdno ali tekočino (adsorbent).
45. Površinska adsorpcija: adsorpcija plina ali pare (adsorbat) na površino trdne ali tekočine (adsorbent).
46. Fizikalna adsorpcija: Adsorpcija zaradi fizikalnih procesov.
47. Kemiadsorpcija: Adsorpcija zaradi kemičnih procesov.
48. Absorpcija: difuzija plina ali pare (adsorbat) v notranjost trdne ali tekočine (adsorbent).
49. Koeficient prileganja: Razmerje med povprečno energijo, ki se dejansko izmenja med delcem, ki pade na površino, in površino, ter povprečno energijo, ki bi jo moral delec izmenjati, da doseže popolno toplotno ravnovesje na površini.
50. Stopnja vpada: Število molekul, ki vpadejo na površino v določenem časovnem intervalu, deljeno s tem časom in površino.50. Stopnja incidenta: število molekul, ki vpadejo na površino v določenem časovnem intervalu, deljeno s tem časom in površino.
51. Stopnja kondenzacije: Število molekul (ali mase snovi), kondenziranih na določeni površini v določenem časovnem intervalu, deljeno s tem časom in to površino.
52. Stopnja adhezije: Število molekul, adsorbiranih na površino v določenem časovnem intervalu, deljeno s tem časom in to površino.
53. Verjetnost adhezije: razmerje med stopnjo adhezije in stopnjo incidenta.
54. Čas zadrževanja: povprečni čas, ko je molekula omejena v adsorbiranem stanju na površini.
55. Migracija: Gibanje molekul na površini.
56. Desorpcija: Sproščanje plina ali hlapov, ki jih adsorbira material. Sproščanje je lahko naravno ali pospešeno s fizikalnimi metodami.
57. Razplinjevanje: Umetna desorpcija plina iz materiala.
58. Razplinjevanje: naravna desorpcija plina iz materiala.
59. Hitrost desorpcije, razplinjevanja ali odstranitve plina: hitrost pretoka (ali hitrost molekularnega pretoka) plina, desorbiranega (ali razplinjenega) iz materiala v danem časovnem intervalu, deljena s tem časom in to površino.
60. Hitrost izhlapevanja: število molekul (ali mase snovi), ki so izhlapele s površine v določenem časovnem intervalu, deljeno s tem časom in to površino.
61. Prepustnost: pojav plina, ki prehaja skozi trdno pregradno plast. Ta pojav vključuje difuzijo plina skozi trdno snov in lahko vključuje tudi druge površinske pojave.
62. Prepustnost: V pogojih enakomernega toka je hitrost pretoka plina skozi pregradno plast (kot je stena posode), deljena s funkcijo tlakov na obeh straneh pregradne plasti. Oblika te funkcije je odvisna od fizičnih procesov, vključenih v dejansko prežemanje.
63. Koeficient prepustnosti: zmnožek prepustnosti in debeline pregradne plasti, deljen s prepustno površino.
Zgoraj je povzetek pogostihoprema za vakuumsko nanašanjeindustrijski izrazi. Upamo, da so te informacije v pomoč, saj je obvladovanje teh izrazov bistveno za vstop v vakuumsko industrijo.
