Več skupnih virov ionov v postopku prevleke vakuumskih strojev

Da bi izboljšali oprijem, silo vezave in filmsko strukturo obdelovanca, je veliko vakuumskih strojev med postopkom prevleke opremljenih z viri ionov.
Čeprav obstaja veliko vrst ionskih virov, njihov namen ni nič drugega kot spletno čiščenje, izboljšanje porazdelitve energije in modulacije prevlečene površine za povečanje energije reakcijskega plina. Ionski vir lahko močno izboljša moč vezave med filmom in substratom, prav tako pa lahko izboljša trdoto in odpornost na nošenje samega filma. Če je plast, ki je odporna proti obrabi, na splošno debelejša in enakomernost debeline filma ni visoka, lahko uporabimo ionski vir z večjim ionskim tokom in višjo energijsko raven, na primer dvoranski ionski vir ali anodni ionski vir.
Načelo vira ionskih anodnih plasti je podobno kot pri dvoranskem ionskem viru. Obročna (pravokotna ali krožna) ozka reža se doda z izboljšanim magnetnim poljem, delovni plin pa je ioniziran in oddaja na obdelovanca pod delovanjem anode. Ionski vir anodnega sloja je lahko zelo velik in dolg, kar je še posebej primerno za galvaniranje velikih delov, kot je arhitekturno steklo. Ionski tok anodnega ionskega vira je tudi velik. Vendar je ionski pretok različen, porazdelitev energije pa je preširoka. Na splošno je primeren za velike obdelovance, steklo, odporne na obrabo in okrasne obdelovalne obloge. Toda v naprednih optičnih premazih ni veliko aplikacij.
Ta vakuumski oblog je opremljen z dvoranskim ionskim virom, kjer anoda in močno osno magnetno polje delujeta skupaj za ionizacijo procesnega plina. Močno neravnovesje osnega magnetnega polja loči plinske ione, da tvori ionski žarek. Ker je aksialno magnetno polje premočno, je treba ionski ionski žarek dvorane dopolnjevati z elektroni, da nevtralizira ionski tok. Pogost vir nevtralizacije je volframova filament (katoda).