ena. Redno menjajte olje difuzijske črpalke.
Olje za difuzijsko črpalko uporabljamo za čas, približno dva meseca (dve izmeni). Zaradi dolgotrajnih-visokih{2}}temperaturnih okolij, tudi če se difuzijska črpalka aktivira le pri visokem vakuumu, lahko preostali kisik in druge komponente reagirajo z oljem difuzijske črpalke. Ta visoka temperatura lahko povzroči tudi razpad olja difuzijske črpalke, kar poslabša njegovo kakovost in podaljša čas črpanja. Če menimo, da je čas črpanja predolg, ga je potrebno zamenjati.
Dva. Vakuumske črpalke
Olje za mehansko črpalko in olje za vzdrževalno črpalko bo po dveh mesecih uporabe doživelo spremembe v kakovosti. To se lahko zgodi zaradi vdelave vlage, nečistoč in drugih dejavnikov, ki lahko povzročijo poslabšanje viskoznosti olja in padec vakuuma, zaradi česar je potrebna zamenjava. Novo opremo je treba zamenjati v prvih dveh tednih uporabe. Med premorom-olje vsebuje visoko koncentracijo železovega prahu, ki lahko poveča obrabo.
tri. Čistoča in higiena
Redno vzdržujte higieno opreme in njene okolice, pri čemer poskrbite, da bo notranjost in zunanjost opreme čista, okolica pa urejena, da ustvarite dobro delovno okolje in zagotovite varnost.
štiri. Čiščenje anOptični vakuumski premazni stroj
Po enem tednu delovanja premazni material zaradi ne-usmerjenega premaza ne bo prekril samo površine obdelovanca, temveč tudi podlogo znotraj komore. Premaz bo postopoma postal debelejši.
Ta film zaradi svoje ohlapne strukture in prepletenosti absorbira veliko količino plina, zaradi česar oprema za vakuumsko nanašanje počasneje črpa zrak. V tem času je treba komoro in oblogo očistiti. Nepotrebne dele za razstavljanje lahko očistite z brusnim papirjem.
Podlogo lahko namočite v raztopino fluorovodikove kisline. Razmerje med fluorovodikovo kislino in vodo je treba določiti na podlagi potrebnega časa namakanja in želenega učinka na podlogo. Pred montažo je treba oblogo posušiti.
Pred sušenjem podlogo obrišite čim bolj suho. Po čiščenju delovnega okvirja in drugih komponent z brusnim papirjem odstranite ves prah iz vakuumske komore. To lahko storite s sesalnikom.
Ko nameščate podlogo, je treba tako vakuumsko komoro kot podlogo očistiti z robčkom-nadzorovanim z alkoholom. Uporaba elektronske pištole in ionskega vira za pomoč pri premazovanju lahko oteži čiščenje; lahko uporabite peskanje ali druge metode čiščenja.
