V številnih projektih PVD se pogosto pojavlja zelo tipična težava:
Na istem obdelovancu so nekatera področja zelo debela, druga pa zelo tanka, včasih z zelo očitnimi razlikami.
Prva reakcija mnogih ljudi je: Ali obstaja težava z vrtljivim okvirjem? Ali je vrtenje neenakomerno?
Tako začnejo: preverjajo motor, prilagajajo hitrost, optimizirajo vpenjalo.
Toda rezultat je pogosto: omejeno izboljšanje ali celo nobene spremembe.
To ponazarja ključno točko:
Neenakomerna debelina ni le "problem vrtenja", ampak tudi "problem porazdelitve plazme".
Najprej zaključek: To je "problem prostorske distribucije."
Debelina filma je v bistvu odvisna od: atomskega toka, ki doseže površino na časovno enoto.
In ta tok je pogosto: prostorsko ne{0}}enoten.
Z drugimi besedami: »tok materiala«, ki ga prejme obdelovanec, se na različnih lokacijah razlikuje.
drugič Kaj točno rešuje rotacija?
Veliko ljudi pojmovanje rotacije je:
"Poravnajte plast filma"
Toda bolj natančno razumevanje je:
Vrtenje samo "povpreči neenakost", namesto da bi jo odpravilo.
Za preprost primer: Če je porazdelitev plazme: močna na eni strani, šibka na eni strani, po vrtenju: Obdelovanec bo periodično šel skozi močna in šibka področja. Rezultat: Dobljena je "povprečna vrednost".
Toda predpostavka je:
Razlika ne more biti prevelika
Če je razlika prevelika:
Ne glede na to, koliko ga obračate, nikoli ne bo popolnoma enakomeren.
Tretjič. Kdaj je "problem vrtenja"?
Lastnost 1: Debelina se občasno spreminja
Na primer:
Debelina se redno spreminja z vsakim obratom
Značilnost 2: slaba skladnost med različnimi obdelovanci; nekatere so dobre, druge slabe.
Funkcija 3: Bistveno izboljšanje prilagajanja hitrosti.
Pogosti vzroki: Nestabilna hitrost vrtenja; Rotacijska ekscentričnost; Asimetrična postavitev obdelovanca.
Zaključek: Bistvena težava pri težavah z rotacijo je "neenakomerna časovna porazdelitev".
Naprej. Kdaj je "problem s plazmo"? (Bolj pogosto)
Značilnost 1: Vedno gosto v določeni smeri
Ne glede na to, kako se vrti, je ta regija vedno debelejša.
Funkcija 2: Splošni "prostorski odmik"
Na primer: stran, ki je bližje tarči, je debelejša, medtem ko je stran, ki je bolj oddaljena, tanjša.
Lastnost 3: Vsi obdelovanci imajo podobne vzorce.
Pogosti vzroki:
1. Neenakomerna porazdelitev magnetnega polja; Neenakomerna ciljna erozija; Neenakomerna gostota plazme
2. Vpliv strukture votline: Zapora, Odboj
3. Motnje več-tarč: neenakomerna superpozicija med različnimi tarčami.
4. Nerazumna zasnova položaja obdelovanca
Zaključek:
Jedro plazemskega problema je "neenakomeren prostorski vir"
Petič. Ključna napačna predstava
Mnogi ljudje, ko se soočijo z neravninami,
njihova prva reakcija je prilagoditev rotacije. A v resnici: Vrtenje lahko le omili težavo, ne pa jo pozdravi.
Če je glavni vzrok resna nehomogenost plazme, je povečanje hitrosti vrtenja le začasna rešitev.
Šesto. Kako hitro ugotoviti vrsto težave?
Tukaj je praktična metoda:
1. način: Pritrdite obdelovanec (brez vrtenja)
Upoštevajte: porazdelitev debeline filma
Če na tej točki: je porazdelitev že zelo neenakomerna; Zaključek: problem s plazmo.
2. način: Spremenite hitrost vrtenja
če:
Sprememba hitrosti vrtenja → Bistvena sprememba enakomernosti
Zaključek: Rotacijski problem
3. način: Spremenite položaj obdelovanca
Če: Spremenite položaj → Spremenite porazdelitev
Zaključek: Problem prostorske razporeditve
Sedmo. Resnično učinkovite strategije optimizacije
1. Dajte prednost obravnavanju "prostorske porazdelitve"
Optimizirajte ciljni položaj; nastavite magnetno polje; izboljša strukturo votline
2. Dodatno optimizirajte strategijo kroženja
Hitrost vrtenja
Trajektorija vrtenja
Oscilacijski način
3. Optimizirajte postavitev obdelovanca: Izogibajte se oviram in izboljšajte simetrijo.
4. Sodelovalna zasnova z več-cilji: omogočanje različnim ciljem, da tvorijo "enotno superpozicijo".
osmo. Ključna kognitivna nadgradnja
Mnogi razumejo problem kot:
"Neenakomerna struktura membrane je mehanski problem."
Toda bolj temeljno razumevanje je:
To je problem "neenakomernega množičnega transporta".
Z drugimi besedami, pot materiala od tarče do obdelovanca ni prostorsko-enakomerna.
deveti. Končni povzetek
Ali je velika razlika v debelini na istem obdelovancu težava, povezana z rotacijo ali-plazmo?
Odgovor je:
Lahko gre za rotacijsko težavo, pogosteje pa za distribucijo plazme. Ključna razlika je:
Rotacijske težave → časovna neenakost; Težave-povezane s plazmo → prostorska neenakost.
