Uvod v princip premazovanja vakuumskih cevi v strojih za vakuumsko premazovanje

Dec 31, 2025

Pustite sporočilo

PVD coating machine

 

Načelo vakuumskega premazovanja cevi v vakuumskih premazovalnih strojih je, da elektroni, pospešeni proti substratu pod vplivom električnega polja, trčijo z atomi argona, pri čemer se ionizirajo v veliko število argonovih ionov in elektronov. Elektroni nato letijo proti substratu. Ioni argona, pospešeni z električnim poljem, bombardirajo tarčni material in razpršijo veliko število tarčnih atomov, ki se kot nevtralni tarčni atomi (ali molekule) odložijo na podlago in tvorijo film. Na sekundarne elektrone med pospeševanjem proti substratu vpliva Lorentzova sila magnetnega polja in so omejeni na območje plazme blizu ciljne površine. To območje ima visoko gostoto plazme, sekundarni elektroni pa se pod vplivom magnetnega polja krožno gibljejo okoli tarčne površine.

 

Ta dolga pot gibanja vključuje stalne trke z atomi argona, ki se ionizirajo v veliko število ionov argona, ki bombardirajo ciljni material. Po večkratnih trkih elektroni postopoma izgubljajo energijo, se osvobodijo magnetnih silnic, se odmaknejo od ciljnega materiala in se končno odložijo na podlago. Zdaj, z dodatkom srednje{2}}frekvenčne magnetronske tarče za razprševanje, se izhlapevajoče molekule filma pospešijo in bombardirajo tarčni material pod delovanjem električnega polja, pri čemer se razprši veliko število ciljnih atomov.

 

Nevtralni ciljni atomi (ali molekule) se nanesejo na substrat, da tvorijo film, ki rešuje problem vrst filmov, ki jih v preteklosti ni bilo mogoče obdelati z naravnim izhlapevanjem, kot je titanova prevleka, cirkonijeva prevleka itd.

 

Trenutno se v vakuumskih elektronkah običajno uporablja-kompozitni film iz aluminija in dušika. Celoten film je sestavljen iz treh plasti: notranje, srednje in zunanje, vsaka s svojo funkcijo. Notranja plast je odbojna plast, katere glavna naloga je preprečiti, da bi toplota iz vroče vode v cevi sevala navzven.

 

Srednja plast je absorpcijska plast, katere glavna naloga je absorbirati svetlobno energijo in jo pretvarjati v toplotno energijo.

Zunanja plast je anti{0}}odbojna plast, katere glavna naloga je zmanjšati odboj sončne svetlobe in povečati stopnjo absorpcije sončne svetlobe.

 

 

Pošlji povpraševanje
Kontaktirajte nasČe imate kakršno koli vprašanje

Spodaj nas lahko kontaktirate prek telefona, e -pošte ali spletnega obrazca. Naš specialist vas bo kmalu kontaktiral.

Kontaktirajte zdaj!