Trenutno obstaja veliko metod za spremljanje tankih plasti v strojih za vakuumsko nanašanje, vključno z: vizualnim nadzorom, nadzorom fiksnih (ekstremnih) vrednosti, nadzorom kristalnih oscilacij in nadzorom časa. Ta članek bo predstavil predvsem tri metode: vizualno spremljanje, spremljanje fiksnih (ekstremnih) vrednosti in spremljanje kristalnih oscilacij. Vizualno spremljanje, znano tudi kot neposredno spremljanje, uporablja oči za spremljanje filma. Med procesom rasti filma interferenčni pojavi povzročijo barvne spremembe in na podlagi teh barvnih sprememb nadzorujemo debelino filma. Ta metoda ima določeno stopnjo napake in ni zelo natančna, zato so potrebne izkušnje.
Spremljanje s fiksno-vrednostjo (ekstremno-vrednostjo): To večinoma uporablja odsevno (transmisivno) optično spremljanje. Metoda spremljanja ekstremne-vrednosti: Ko se debelina filma poveča, se ustrezno spremenita njegova odbojnost in prepustnost. Ko odbojnost ali prepustnost doseže skrajno točko, je mogoče določiti, da je optična debelina ND prevleke celoštevilski večkratnik ene -četrtine nadzorne valovne dolžine (λ). Vendar ima metoda ekstremne-vrednosti razmeroma veliko napako, ker se odbojnost ali prepustnost spreminja zelo počasi blizu ekstremne vrednosti; to pomeni, da se R/T spremeni šele po znatnem povečanju debeline filma ND. Najbolj občutljiv položaj je na eni-osmini valovne dolžine. Metoda spremljanja s fiksno{11}}vrednostjo: Ta metoda uporablja dejstvo, da točka zaustavitve premaza ni na-četrtini valovne dolžine nadzora. Nato računalnik izračuna odbojnost (ali prepustnost) celotne debeline filma pri valovni dolžini 1, ki je končna točka nanosa. Nadzor kristalnega nihanja: Načelo delovanja kristalnega nihanja temelji na načelu, da je frekvenca nihanja kremenčevega kristala obratno sorazmerna z njegovo maso. Vendar pa je ena pomanjkljivost spremljanja kvarca ta, da ko se debelina filma poveča na določeno raven, frekvenca vibracij ni povsem linearno povezana z debelino zaradi lastnosti samega kremena. V tem primeru je treba uporabiti nov kvarčni oscilator.
Vsaka od več metod spremljanja ima svoje prednosti in slabosti, vendar je pri več-plastnih prevlekah optično spremljanje običajno primarna metoda, ki jo dopolnjuje nihanje kremenčevih kristalov. Poleg tega so za nekatere postopke, ki zahtevajo vbrizgavanje plina med nanašanjem premaza, potrebni merilniki pretoka ali tlaka, ki za nadzor zahtevajo natančne ventile in fotoelektrične zaznavne sisteme. Stroji za vakuumsko premazovanje zahtevajo tudi sistem za nadzor vrtenja, kjer je glavna gred dežnika nameščena znotraj ležaja, motor pa poganja ležaj za vrtenje dežnika. Hitrost vrtenja nato krmili PLC. Vrtenje lončka poganja motor in uporablja fotoelektrično indukcijsko štetje, medtem ko se zaščitna plošča vrti s pomočjo pnevmatskega stikala. Da bi pospešili hitrost črpanja in dosegli določeno raven vakuuma, je treba vakuumsko komoro ohladiti, zrak v notranjosti zamrzniti na -130 stopinj Celzija ter zamrzniti in odstraniti morebitno vodno paro. Oddelek električnega krmiljenja v glavnem uporablja avtomatsko krmiljenje PLC. Vnaprej-oblikovan program je najprej vnesen v PLC, glavno vezje procesorja pa je povezano z vsakim sistemom brez obremenitve na operacijski plošči. Ko pritisnete stikalo na operacijski plošči, se informacije prenesejo v centralni procesor, nato pa centralni nadzorni sistem analizira in izda navodila razvejnim vezjem za izvedbo in dokončanje dejanja.
Stroji za vakuumsko nanašanje so naprave, ki združujejo več disciplin. Vključujejo najnaprednejše elektromehanske tehnologije, krmilne tehnologije, električno avtomatizacijo, IT tehnologije, hladilne tehnologije, integrirane sisteme z mikrovezji, visoko-napetostne nadzorne sisteme, mehanske tehnologije, procesne tehnologije, optoelektronske tehnologije, optične tehnologije, pnevmatske krmilne tehnologije, optoelektronske zaznavne tehnologije, komunikacijske tehnologije, vakuumske tehnologije, tanko-filmsko optiko in tehnologije premazov in drugo. Stroje za vakuumsko nanašanje lahko štejemo za predstavnika nastajajočih industrij. Danes so stroji za vakuumsko premazovanje zelo razširjeni, predvsem pri izdelavi tankih filmov. Različni proizvedeni tanki filmi se uporabljajo v različnih optoelektronskih sistemih in optičnih instrumentih, kot so digitalni fotoaparati, digitalne video kamere, teleskopi, projektorji, krmiljenje energije, optična komunikacija, zaslonska tehnologija, interferometri, umetni sateliti in izstrelki, polprevodniški laserji, mikroelektromehanski sistemi, informacijska industrija, proizvodnja laserjev, različni filtri, svetlobna industrija, senzorji, arhitektura steklo, avtomobilska industrija, okrasni predmeti, kovanci, očala in drugo. Stroji za premazovanje so postali tesno vključeni v človeško življenje.
