Ionski vir naprave za večkratno prevleko temelji na vakuumskem loku hladnega katoda. Katodni ciljni material se giblje. Mete oddajajo kovinske hlape in ionizirajo v ione. Ioni se odložijo na površini obdelovanja, da tvorijo prevleko. Delovno načelo ionskega vira naprave z več ARC je ustvariti izcedek iz loka v vakuumskem okolju skozi ciljni material katode, da tvori plazmo z visoko gostoto. Ko tok preide skozi ciljni material, se bodo na površini oblikovale drobne pike in se premikale z veliko hitrostjo. Te pike bodo izhlapele in ionizirale ciljni material za proizvodnjo kovinskih ionov. Ti ioni se pospešijo, da letijo proti obdelovancu pod delovanjem električnega polja in na koncu odložijo na površino, da tvorijo enakomerno in gosto prevleko.
